在半导体制造过程中，精确控制温度至关重要。但长期以来，我们一直面临着一个难题：传统的加热方式容易浪费能量，还会产生臭氧。为了解决这个问题，工厂不得不使用耗电量巨大的净化系统来确保空气安全。
我们找到了更好的方法——利用红外线灯，避免使用185纳米波长的光，从而防止氧分子分解。简单来说，就是不会产生臭氧。这样，我们就能从根源上解决问题，而无需事后再进行净化处理。
节省能源，同时节省成本
如果想要实现“绿色工厂”的目标，关键就在于每块芯片的制造过程中所消耗的电能有多少。
我们的红外线系统采用直接辐射热的方式，不会浪费能量去加热整个腔室内的空气，而是直接作用于需要加热的物体表面。这与那些会向四周散发热量的传统对流式烤箱相比，有着天壤之别。
此外，这些红外线灯能够在几秒内达到设定温度，无需长时间等待设备升温。
现实考验
当然，这并非什么魔法解决方案。高强度的红外线会产生大量的热量。如果你希望系统能够快速升温，那就必须确保冷却系统能够承受这种高温。否则，其他部件很可能会过热。我们通常建议将这类系统与PID控制器一起使用，这样可以更好地控制温度，避免其超出设定范围。
更清洁的洁净室环境
最棒的是，当不再产生臭氧后，就无需再通过强力通风来清除有毒气体了。这样一来，空气处理系统也可以休息一下了。更低的能耗意味着更少的碳排放。
对于生产线上的工程师来说，这也是一种简单的解决方案——无需在生产线上安装复杂的化学净化装置，就能实现更清洁的加工流程。真的很简单。