MEMS传感器晶圆干燥加热器

别再把MEMS加工设备变成“烤箱”了 如果你曾经使用过传统的对流式加热器来干燥晶圆，那你一定知道其中的不便之处。你试图让晶圆变干，但实际上整个腔体都被加热了。那些昂贵的设备的内壁就像海绵一样，吸收了所有的热量。结果就是，机器的外部会变得极其烫手，而电费也会大幅上升。这实在是一种浪费。 我们找到了更...