高能效晶圆加热器

转向红外线技术：精准控制智能工厂中的加热过程 如果您正在打造适用于工业4.0的智能工厂，那么您应该已经知道，软件固然重要，但真正的难题在于硬件。您需要的是能够响应数据指令的设备。 在为晶圆加热方面，我们选择了红外线技术。为什么呢？因为它的反应速度极快。在数字化生产线上，可不能等待加热器慢慢升温。...