转向红外线技术：精准控制智能工厂中的加热过程 如果您正在打造适用于工业4.0的智能工厂，那么您应该已经知道，软件固然重要，但真正的难题在于硬件。您需要的是能够响应数据指令的设备。 在为晶圆加热方面，我们选择了红外线技术。为什么呢？因为它的反应速度极快。在数字化生产线上，可不能等待加热器慢慢升温。...

可以看到，晶圆在完成最终冲洗后便会被取出。从它离开水面的那一刻起，计时就开始了。如果传统干燥方式无法使晶圆表面的温度保持均匀，哪怕只有0.5°C的偏差，都可能引发晶圆表面应力问题、光刻胶熔化缺陷，以及颗粒附着等问题。我们设计的超精密干燥系统，其核心目标就是确保每次循环中，整个晶圆表面的温度都能保持...