别再把MEMS加工设备变成“烤箱”了
如果你曾经使用过传统的对流式加热器来干燥晶圆，那你一定知道其中的不便之处。你试图让晶圆变干，但实际上整个腔体都被加热了。那些昂贵的设备的内壁就像海绵一样，吸收了所有的热量。结果就是，机器的外部会变得极其烫手，而电费也会大幅上升。这实在是一种浪费。
我们找到了更好的方法：定向红外加热。
其原理是什么？
想象一下，对流式加热就像试图通过加热房间内的每一立方英寸的空气来让一个人变暖一样，效率极低。而红外加热则不同。它利用电磁波将能量直接传递到晶圆表面，无需加热空气或设备内壁。这样，热量就能准确地作用于需要蒸发的地方。因为能量被集中到了正确的位置，所以设备的钢制框架仍然保持凉爽。
需要注意的问题
我们通常选择短波红外发射器。为什么呢？因为MEMS加工中所使用的材料更能有效吸收这种辐射。此外，还可以搭配快速响应的控制器，从而避免意外加热晶圆的情况。
不过，这里有个问题：红外灯的强度很高。如果对准有哪怕几毫米的偏差，就可能导致晶圆出现局部过热的情况，或者误伤那些本不该被加热的部件。因此，必须精心选择反射器，以确保光束的角度恰到好处。
为什么这会让工作更轻松？
一旦解决了“设备内壁过热”的问题，一切都会变得更简单。操作人员不必担心会被烫伤，而HVAC系统也不必努力维持房间温度，因为设备不再与周围环境产生冲突。此外，这种方法的效率更高，占用的空间也更小。总的来说，这种方法让整个加工过程不再那么艰难。