别再把MEMS加工设备变成“烤箱”了 如果你曾经使用过传统的对流式加热器来干燥晶圆，那你一定知道其中的不便之处。你试图让晶圆变干，但实际上整个腔体都被加热了。那些昂贵的设备的内壁就像海绵一样，吸收了所有的热量。结果就是，机器的外部会变得极其烫手，而电费也会大幅上升。这实在是一种浪费。 我们找到了更...

可以看到，晶圆在完成最终冲洗后便会被取出。从它离开水面的那一刻起，计时就开始了。如果传统干燥方式无法使晶圆表面的温度保持均匀，哪怕只有0.5°C的偏差，都可能引发晶圆表面应力问题、光刻胶熔化缺陷，以及颗粒附着等问题。我们设计的超精密干燥系统，其核心目标就是确保每次循环中，整个晶圆表面的温度都能保持...

我们之所以发明这种衣物烘干器，是因为我们发现了一个反复出现的问题：即使衣物已经完成烘干程序，仍然会带有那种难以去除的霉味。问题不仅仅在于烘干所需的时间，更在于如何让热量均匀地渗透到织物纤维中，同时避免外部被烤焦，而内部则保持湿润状态。 在我们的实验室里，我们通过控制环境条件来测试红外辐射的效果，研...

在OLED生产线上，根本没有任何产能余量。软烘干温度哪怕漂移1°C，都会改变光刻胶的剖面结构。硬烘干均匀性不足则会悄无声息地影响良率。而在7×24小时运作的工厂中，干燥工序绝非停顿环节，而是必须持续保持的工艺约束，小时复小时。 技术要点 我们构建的OLED制造干燥灯基于可重复的热能和洁净传递。短波...