可与真空环境配合使用的红外加热器
在红外加热器与易燃化学品共存时,如何确保安全?
如果您在化学清洗线中使用红外加热器,那您肯定知道其中存在的风险。环境中充满了易挥发的蒸汽,同时还有真空环境所带来的压力。在这种环境下,普通的市售灯管根本不可用——它们不仅效果不佳,还会带来安全隐患。
因此,我们设计的红外加热器采用了特殊的封装结构,这...
真空炉加热元件制造厂
关于真空炉加热元件的残酷真相
说实话,对于加热元件来说,真空炉内部的环境实在是非常恶劣的。它是一种极其严苛的工作环境。
我们在设计加热元件时,就考虑到它们必须在高压环境下正常工作。它们需要日复一日地持续输出稳定的热量,绝不能出现故障。不能有气体泄漏,也不能出现意外烧毁的情况。这就是我们对产品的要求...
真空室红外加热器
在生产车间,光刻胶烘烤过程中0.5°C的漂移就足以影响关键尺寸(CD)目标并开始降低良率。真空室红外加热器的存在是为了消除软烘烤和硬烘烤过程中的这种变异——这些步骤的热预算是绝对不可妥协的。
底层的重要性
短波红外线迅速照射到晶圆和腔体表面,直接耦合热量,减少热滞后。我们的目标是在工艺窗口内实现...