세척용 방수 적외선 램프

고부하 상태에서 웨이퍼가 오염되는 것을 막는 방법 반도체 건조 과정에서 가장 끔찍한 상황은 바로 IR 램프가 파손되는 것입니다. 고부하 작동 중에 램프가 파손되면, 단순히 전구가 깨진 것에 그치지 않습니다. 유리 조각과 화학물질들이 웨이퍼 위로 떨어지게 되죠. 이는...