공장 건조 공정의 에너지 점검

웨이퍼가 최종 세척 과정을 거쳐 나오는 모습을 보면, 그 다음에 무슨 일이 일어날지 알 수 있습니다. 웨이퍼가 물에서 나오는 순간부터 시간 계수가 작동하기 시작합니다. 일반적인 건조 방식에서는 표면의 온도가 0.5°C만 차이나도 피부층에 스트레스를 주거나 포토레지스트...