MEMS用の装置をオーブンのように使うのはやめましょう。
もし、ウェーハの乾燥に通常の対流式ヒーターを使ったことがあるなら、その苦労はご存知でしょう。ウェーハを乾燥させようとしても、結局はチェンバー全体が加熱されてしまいます。高価な装置の内壁は、まるでスポンジのようにそのエネルギーを吸収してしまいます。
その結果、装置の外側が危険なほど高温になり、電気代も大幅に上昇します。これは明らかな無駄遣いです。
私たちは、より良い方法を見つけました。それは、方向性のある赤外線を利用する方法です。
仕組みは？
対流式ヒーターは、部屋中の空気を温めることで一人の人間を温めようとするのと同じです。非効率的です。
一方、赤外線は異なります。電磁波を使ってエネルギーを直接ウェーハの表面に送り込みます。空気や壁を温める必要はありません。水が蒸発する場所にだけ熱を当てるのです。
つまり、装置の鋼鉄製のフレームは、エネルギーが適切な場所に集中されるため、冷たく保たれます。
注意点と問題点
一般的には、短波長の赤外線を使用します。なぜでしょうか？それは、MEMSの乾燥処理に適した材料が、この種の赤外線をよく吸収するからです。また、迅速に反応するコントローラーと組み合わせることで、ウェーハが過度に加熱されるのを防ぐことができます。
しかし、注意点もあります。
赤外線ランプは非常に強力です。もし位置合わせが数ミリメートルでもずれていると、問題が起こります。ウェーハの一部が過度に加熱されたり、本来加熱されるべきでない部品が加熱されてしまったりします。正確なビーム角度を得るためには、反射器の選定にも細心の注意が必要です。
なぜこれが便利なのか
「壁が熱くなる」という問題が解決されれば、全体的に作業が楽になります。
作業員は、装置の近くに立っても火傷する心配がありません。また、装置が環境と戦わないため、HVACシステムも部屋を冷却するために必死に動く必要がありません。
処理速度も速く、占有スペースも少なくて済みます。正直、物理法則と戦うような感覚から解放されます。