Wie man die Aushärtung der Wafer in einer intelligenten Fertigung richtig gestaltet
Wenn Sie eine intelligente Fertigungseinrichtung betreiben, wissen Sie, dass es vor allem um Daten geht. Doch bei der Aushärtung der Wafer reichen Daten allein nicht aus – es kommt darauf an, ob Ihre Hardware die Energie gezielt einsetzt. Sie möchten schließlich kein System, das einfach nur Energie in den Behälter leitet; Sie möchten vielmehr ein System, das die Energie gezielt nutzt.
Dabei spielen Reflektoren eine wichtige Rolle. Sie sorgen dafür, dass die Infrarotstrahlung der Lampen tatsächlich auf die Wafer trifft, anstatt nur die Luft um sie herum zu erwärmen.
Vermeiden Sie unnötigen Energieverbrauch
Wenn Sie eine Aushärtungslampe ohne Reflektor verwenden, verschwenden Sie im Grunde genommen die Hälfte Ihrer Energie. Wir verwenden Reflektoren, um die kurzwellige Infrarotstrahlung direkt auf das Substrat zurückzuleiten. In einem digitalen System ist das ein enormer Vorteil: Sie können die Gesamtleistung der Heizsysteme reduzieren, während Sie dennoch die gewünschte Oberflächentemperatur erreichen. Dadurch bleibt Ihr Stromnetz stabil – und Ihr Gehäuse wird nicht zu einem “Ofen”.
Die Details bezüglich der Materialien
Je nach Wellenlänge, mit der Sie arbeiten, verwenden wir entweder hochreines Aluminium oder mit Gold überzogene Substrate. Es geht dabei darum, eine optimale Wärmeverteilung zu erreichen. Wenn dieses Konzept mit Ihren Industry-4.0-Sensoren kombiniert wird, funktioniert alles reibungslos. Die Wärmeverteilung wird vorhersagbar – es entsteht eine direkte Beziehung zwischen der eingesetzten Energie und der Temperatur auf der Oberfläche. Dadurch wird die Erfassung der Wafertemperaturen erheblich erleichtert.
Realitätscheck: Was passiert in der Praxis?
Es gibt jedoch einen Haken: Hochreflektierende Systeme konzentrieren viel Wärme in einem kleinen Raum. Das beschleunigt zwar die Aushärtungsvorgänge – doch dadurch wird die Belastung der Kühllüfter erhöht. Man kann solche Systeme nicht einfach in alte Anlagen einbauen und darauf hoffen, dass alles funktioniert. Man muss sicherstellen, dass der Luftstrom die konzentrierte Wärme bewältigen kann.
Achten Sie außerdem auf die richtige Ausrichtung der Reflektoren. Selbst kleine Abweichungen von ein paar Millimetern können dazu führen, dass es zu Hotspots kommt. Das bedeutet uneinheitliche Aushärtung und eine verringerte Produktivität.
Mein Rat: Überprüfen Sie immer wieder die genaue Ausrichtung der Reflektoren, sobald Sie eine Lampe austauschen. Das dauert zwar eine Minute, aber so bleibt Ihre Produktion stabil.