Hören Sie auf, Ihre MEMS-Geräte in „Öfen“ zu verwandeln!
Wenn Sie schon einmal einen herkömmlichen Konvektionsheizer zur Trocknung von Wafern verwendet haben, wissen Sie, wie schwierig das ist. Man versucht zwar, die Wafer zu trocknen – doch dabei wird der ganze Raum erhitzt. Die Innenwände des teuren Geräts saugen all diese Energie auf, wie ein Schwamm.
Das Ergebnis? Die Außenseite der Maschine wird gefährlich heiß – und die Stromrechnung steigt in die Höhe. Das ist pure Verschwendung.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden: direktes Infrarot-Heizen.
Wie es funktioniert
Stellen Sie sich vor: Konvektion bedeutet, versuchen, eine einzelne Person zu wärmen, indem man jedes Kubikzentimeter Luft im Raum erhitzt. Das ist ineffizient.
Infrarot hingegen nutzt elektromagnetische Wellen, um die Energie direkt an die Oberfläche der Wafer zu leiten. Wir müssen weder die Luft noch die Wände erhitzen – wir lenken die Wärme genau dorthin, wo sie benötigt wird.
Der Stahlrahmen des Geräts bleibt kühl, weil die Energie genau dort konzentriert wird, wo sie hingehört.
Die Details – und die Fallen
Wir verwenden in der Regel Kurzwellen-Infrarotstrahler. Warum? Weil die Materialien, aus denen MEMS-Geräte bestehen, diese Strahlen besser aufnehmen. Zudem kann man sie mit schnellen Steuerungen kombinieren, damit die Wafer nicht versehentlich überhitzt werden.
Aber es gibt auch Risiken: Infrarotlampen sind sehr intensiv. Wenn die Ausrichtung nur um ein paar Millimeter falsch ist, entstehen Hotspots auf den Wafern – oder es wird ein Komponente überhitzt, der eigentlich nicht erwärmt werden soll. Man muss also sehr sorgfältig mit den Reflektoren umgehen, damit der Strahlwinkel richtig eingestellt ist.
Warum das das Leben erleichtert
Sobald man das Problem der „heißen Wände“ loswird, ändert sich alles. Die Bediener müssen sich keine Sorgen mehr machen, sich zu verbrennen, wenn sie an das Gerät heran gehen. Das Lüftungssystem muss nicht mehr versuchen, den Raum kühl zu halten – schließlich kämpft das Gerät nicht mehr gegen die Umgebungsluft.
Es geht schneller, es wird weniger Platz benötigt – und ehrlich gesagt: Der gesamte Prozess fühlt sich weniger wie ein Kampf gegen die Physik an.