Wie man die Siliziumwafer sauber hält: Die Wahrheit über Defekte der Infrarotlampen
In einer Produktionsstätte mit hohem Ausstoß an Halbleitern ist ein defekter Lampen ist ein echtes Problem. Doch wenn die Quarzröhre sogar zerbricht, dann ist das ein Albtraum.
Wenn Glassplitter und Staub auf die Siliziumwafer fallen, bedeutet das nicht nur Stillstand in der Produktion – es bedeutet auch kontaminierte Wafer sowie viel verschwendete Zeit. Wir haben viel Zeit damit verbracht, herauszufinden, wie man das verhindern kann.
Vermeidung von Glassplittern
Wir lösen das so: Wir umhüllen den Heizelement mit einer hochreinen Quarzhülle. Man kann das als eine Art „Sicherheitsnetz“ betrachten. Wenn das innere Filament versagt oder die Röhre durch die Hitze zerbricht, fängt die äußere Hülle alles auf. So bleibt der Schmutz drinnen. Natürlich hat man dann eine defekte Lampe – doch die Wafer bleiben sauber.
Umgang mit der Hitze
Diese Geräte werden extrem heiß. Um zu verhindern, dass sie unter dem Druck brechen, verwenden wir Quarz mit dicken Wänden. Das macht die Geräte widerstandsfähiger. Wir achten auch auf die Dichtungen an den Verbindungsstellen. Dort passieren meistens Probleme. Wir vermeiden billige Klebstoffe, die in Vakuum- oder Reinräumen unerwünschte Gase freisetzen. Man möchte schließlich nicht, dass solche Stoffe in der Arbeitsumgebung herumschweben.
Der Kompromiss
Hier liegt das Problem: Hochleistungs-Lampen sind zwar gut, weil sie schnell heiß werden und dadurch die Produktion weiterlaufen kann. Doch all diese Energie erzeugt viel Wärme. Man muss sicherstellen, dass die Kühlung und der Luftstrom ausreichen, um mit dieser Wärme umzugehen. Wenn die Gehäuse zu heiß werden, versagen die Dichtungen letztendlich – egal wie gut die Lampe ist. Es geht einfach um das Gleichgewicht.
Schnelle Austauschmöglichkeiten
Niemand möchte einen halben Tag damit verbringen, ein Gerät neu einzustellen, nur weil eine Glühbirne kaputtgegangen ist. Wir verwenden standardisierte Anschlüsse, sodass die Lampen problemlos ausgetauscht werden können. Man kann eine defekte Lampe in weniger als zehn Minuten austauschen und sofort wieder mit der Arbeit fortfahren. Einfach.