Über zu Infrarot-Technologien: Die Kontrolle der Wärme in Ihrer Smart-Fabrik
Wenn Sie eine Smart-Fabrik für die Industrie 4.0 entwickeln, wissen Sie wahrscheinlich bereits, dass Software nur die Hälfte des Problems ist. Das eigentliche Problem liegt im Hardware-Bereich – Sie benötigen Geräte, die tatsächlich auf Ihre Daten reagieren können.
Was das Erhitzen von Wafern angeht, setzen wir auf Infrarot-Technologien. Warum? Weil sie schnell sind – wirklich sehr schnell. In einer digitalisierten Produktionslinie kann man es sich nicht leisten, darauf zu warten, bis der Heizer seine Arbeit erledigt hat.
Keine Verzögerungen mehr – nur Präzision
Herkömmliche Widerstandsheizungen sind langsam. Sie verursachen nervige Verzögerungen, die die Genauigkeit der Prozesse beeinträchtigen. Infrarot-Heizungen hingegen reagieren fast sofort auf die Befehle des PLCs. Dadurch bleibt die Leistungsdichte hoch und die Abmessungen klein – das bedeutet, dass die Wärmequelle näher an der Wafer liegt. Weniger Abstand bedeutet weniger verschwendete Energie.
Außerdem erleichtert Infrarot-Technologie die Überwachung des Energieverbrauchs erheblich. Wenn man genau wissen möchte, wie viel Energie jede Wafer in Echtzeit verbraucht, braucht man genau diese Vorhersehbarkeit.
Der Kompromiss: Leistung versus Kühlung
Wir bauen diese Systeme so, dass sie rund um die Uhr funktionieren können, ohne auszufallen. Wir verwenden Kurzwell-Infrarotstrahler, da diese tief in das Substrat eindringen und dafür sorgen, dass die gesamte Wafer gleichmäßig erhitzt wird.
Aber es gibt einen Haken: Wenn man die Leistung erhöht, um den Durchsatz zu steigern, merkt man dies an den Kühlvorrichtungen. Wenn die Kühlung nicht ausreicht, steigt die Umgebungstemperatur – und plötzlich liegt man außerhalb des gewünschten Temperaturbereichs. Es handelt sich dabei um ein Gleichgewichtsproblem.
Keine Vermutungen mehr bei der Wartung
Industrie 4.0 bedeutet im Grunde genommen einfach: „Ich möchte genau wissen, was vor sich geht.“ Wir verbinden unsere Infrarot-Systeme direkt mit der Datenübertragungsinfrastruktur – mithilfe eines geschlossenen Feedbacksystems. Anstatt zu hoffen, dass die Ausrüstung weiterhin funktioniert, kann man beobachten, wie sich der Zustand der Heizelemente im Laufe der Zeit verschlechtert.
Sobald die Leistung unter einen bestimmten Wert fällt, gibt das System Alarm. Man kann dann einfach ein Ersatzteil einsetzen, bevor das Heizelement versagt und den Produktionsprozess stört. Keine Vermutungen mehr – keine „Hoffnung auf das Beste“ bei der Wartung. Einfach nur ein Plan, basierend auf dem, was tatsächlich vor Ort passiert.