히터가 웨이퍼를 망치는 것을 막으세요.
반도체 공장이나 고정밀 광학 실험실에서는 아주 작은 먼지 한 알만으로도 큰 문제가 됩니다. 단 하나의 먼지 입자만으로도 전체 웨이퍼가 망가질 수 있습니다.
문제는, 클래스 100급 청정실에서 열이 필요할 때 일반적인 가열 장치들은 오히려 해가 됩니다. 이러한 장치들은 가스를 방출하고, 부스러기를 내보내며, 전반적으로 엉망이 됩니다.
이 문제를 해결하기 위해 우리는 적외선 램프에 고순도 합성 석영 유리로 만든 보호재를 사용합니다. 이것이야말로 깨끗한 환경에서 필요한 열을 얻을 수 있는 유일한 방법입니다.
왜 석영이 효과적인가요?
우리는 그냥 일반적인 유리를 사용하지 않습니다. 우리는 융합된 실리카를 사용합니다.
그 이유는 간단합니다. 융합된 실리카는 고온에서도 휘발성 유기 화합물이나 금속 이온을 방출하지 않습니다. 일반적인 유리는 압력이 가해지면 부드러워지고 파괴됩니다. 하지만 석영은 그렇지 않습니다. 극한의 온도에서도 투명하고 견고한 상태를 유지합니다.
즉, 적외선이 정확히 원하는 곳으로 가고, 보호재는 보이지 않고 안정적인 상태를 유지합니다.
파손되거나 부서지지 않습니다.
보호재는 마치 경호원과 같습니다. 가열 필라멘트와 작업물 사이에 위치하여 그 사이를 보호합니다.
저품질의 보호재는 정말 문제가 됩니다. 열 충격으로 인해 깨져서 미세한 조각들이 생기고, 그 조각들이 생산 라인으로 날아가 버립니다. 우리는 빠른 가열 및 냉각 과정에서도 깨지지 않도록 특별히 설계했습니다.
또한, 우리는 허용 오차를 매우 엄격하게 관리합니다. 그래야 공기가 회전하여 바닥의 먼지가 날리는 것을 막을 수 있습니다.
단점이 하나 있습니다.
고순도 석영은 표면의 기름에 민감합니다.
만약 기술자가 설정 과정에서 손으로 유리를 만진다면, 그 손의 기름이 석영에 스며들어 “핫스팟”을 만듭니다. 이러한 핫스팟은 위험할 수 있으며, 결국 튜브가 조기에 고장날 수도 있습니다.
그러니 반드시 청결한 장갑을 착용하세요. 모든 것을 이소프로필 알코올로 깨끗이 닦으세요.
완벽한 배선과 깨끗한 보호재를 유지한다면, 청정실의 품질을 유지하면서도 충분한 열을 얻을 수 있습니다.