MEMS 공구를 오븐으로 변질시키지 마세요.
웨이퍼를 건조하기 위해 일반적인 대류형 히터를 사용해본 적이 있다면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 웨이퍼를 건조하려고 하지만 결국은 전체 챔버가 가열되어 버립니다. 비싼 장비의 내부 벽면들은 마치 스펀지처럼 그 에너지를 모두 흡수해버립니다.
그 결과로 기계의 외부가 매우 뜨거워져서 만지기도 힘들어집니다. 게다가 전력 비용도 급격히 상승합니다. 이는 정말 낭비입니다.
우리는 더 나은 방법을 찾았습니다. 바로 방향성 적외선 가열입니다.
실제 작동 원리
대류형 히터는 방 안의 모든 공기를 가열함으로써 한 사람을 따뜻하게 하는 것과 같습니다. 이는 비효율적입니다.
반면 적외선 가열은 전자파를 이용해서 에너지를 웨이퍼 표면에 직접 전달합니다. 공기나 벽면을 가열할 필요가 없습니다. 열이 필요한 곳에만 정확하게 전달됩니다.
따라서 장비의 강철 프레임은 차가운 상태를 유지할 수 있습니다.
세부 사항 및 주의점
우리는 보통 단파 적외선 발진기를 사용합니다. 왜일까요? MEMS 웨이퍼의 재료들이 이러한 적외선을 더 잘 흡수하기 때문입니다. 또한, 빠른 반응 속도를 가진 제어기와 함께 사용하면 웨이퍼가 과열되는 것을 방지할 수 있습니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 적외선 램프는 매우 강력합니다. 조금이라도 정렬이 잘못되면 문제가 생깁니다. 웨이퍼에 과열된 부분이 생기거나, 원래 가열되어서는 안 되는 부분이 가열될 수도 있습니다. 따라서 광선의 방향을 정확하게 조절하기 위해서는 반사판을 신중하게 선택해야 합니다.
왜 이 방식이 더 좋은가요?
“뜨거운 벽” 문제를 해결하면 모든 것이 훨씬 편리해집니다.
작업자들은 장비 근처에서 일할 때 화상을 입을 걱정을 하지 않아도 됩니다. HVAC 시스템도 방을 시원하게 유지하기 위해 과도하게 작동할 필요가 없습니다.
속도도 빠르고, 공간도 덜 차지합니다. 솔직히 말해, 이 방식은 마치 물리 법칙과 싸우는 것이 아니라, 훨씬 수월하게 작업을 진행할 수 있게 해줍니다.