用于光刻机的石英玻璃护罩

别再让加热器毁掉你的晶圆了 在半导体制造厂或高精度光学实验室中，哪怕只有一粒微小的灰尘，都可能对晶圆造成毁灭性破坏。只需一颗灰尘，就足以毁掉整块晶圆。 但问题在于：在100级洁净室中，普通的加热元件会带来诸多麻烦——它们会释放气体，还会产生碎片，简直就是一堆脏东西。 为了解决这个问题，我们使用高纯...