别再让加热器毁掉你的晶圆了
在半导体制造厂或高精度光学实验室中，哪怕只有一粒微小的灰尘，都可能对晶圆造成毁灭性破坏。只需一颗灰尘，就足以毁掉整块晶圆。
但问题在于：在100级洁净室中，普通的加热元件会带来诸多麻烦——它们会释放气体，还会产生碎片，简直就是一堆脏东西。
为了解决这个问题，我们使用高纯度的合成石英玻璃来作为红外灯的护罩。只有这样，才能在无需产生杂物的情况下获得所需的温度。
为什么石英玻璃如此有效？
我们使用的并非普通的玻璃，而是熔融石英。原因很简单：在高温环境下，熔融石英不会释放挥发性有机化合物或金属离子。而普通玻璃则会在压力作用下软化甚至破裂。不过，熔融石英则能保持其透明性和强度，即使在极端温度下也是如此。这样一来，红外辐射就能准确地照射到目标位置，而护罩则不会产生任何干扰。
没有碎屑，没有隐患
可以把这种护罩看作是“保镖”——它位于加热丝与工件之间，防止杂质进入。劣质的护罩则很糟糕，它们会在热冲击下破裂，从而让微小的碎片飞溅到生产线上。我们的护罩则能够承受快速的加热和冷却过程，而不会破裂。此外，我们还严格控制了护罩的尺寸，确保其紧密贴合，从而避免空气流动进而引发灰尘飞扬。
唯一需要注意的一点
不过，高纯度石英玻璃对表面油脂比较敏感。如果技术人员在安装时直接用手触摸玻璃，手指上的油脂就会渗入石英中。这会导致“热点”现象，而这类热点可能会让灯管提前失效。因此，请务必使用无绒手套，并用异丙醇清洁所有部件。只要做到这一点，就能保持洁净室的等级，同时还能获得足够的加热效果。