如何保持100级洁净室的清洁状态 如果你正在运营一个100级（ISO 5标准）的洁净室，那你肯定知道颗粒物污染带来的麻烦。哪怕只是加热元件上脱落的一小块碎片，都可能让整批产品变得无法使用。普通的线圈式或裸线式加热器则会产生太多杂气，还会导致材料碎片脱落，而这种状况在关键时刻是最不希望出现的。 因此...

在制造车间，光刻胶烘烤或晶圆干燥过程中的热漂移不仅仅是降低产量的问题。它会影响关键尺寸，并悄然吞噬良率。我们设计了近红外（NIR）发射器灯泡，以保持热行为的可预测性，确保每个周期都保持一致。 底层关键点 NIR提供了低热惯性的体积加热，因此灯泡表面即使在能量传递到薄膜或基板时也能保持较低温度。这意...