洗浄用防水赤外線ランプ

高負荷の洗浄処理中にウェーハが汚染されるのを防ぐ方法 半導体の乾燥工程において最悪の事態と言えば、IRランプが破損することです。高負荷の処理を行っている最中にランプが破損すると、単に電球が壊れただけでは済みません。ガラスの破片や化学物質がウェーハに降りかかります。これは、そのロット全体にとって大き...