Am Boden – 24/7 – kann die Anlage keinen Temperaturausfall ertragen. Sobald ein Heizelement nicht mehr richtig funktioniert, liegen die Temperaturen bei der Weichbrenn- und Härtebrennung bereits außerhalb der zulässigen Grenzen. Die Toleranzen bei der Lithographie verschlechtern sich dadurch. Die Wafer müssen dann weggeworfen werden. Der Zeitplan gerät ins Stocken. Wir setzen daher ein Ersatzheizelement von Axcelis ein, um diesen Problemen von vornherein entgegenzuwirken.
Was technisch wichtig ist:
Dieses Heizelement sorgt für eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf der Waferoberfläche – die Temperatur bleibt dabei innerhalb von ±0,1°C am gewünschten Wert. Die Konstruktion aus Quarz sowie die Reaktion auf kurzwelliges Infrarotlicht ermöglichen eine schnelle, wiederholbare Erhitzung mit minimalem Überschuss – genau das, was benötigt wird, um bei anspruchsvollen Photoresist-Schichten eine stabile Temperatur zu gewährleisten. Das Heizelement ist für Reinräume der Klasse 1–100 geeignet, erzeugt keine Partikel und hält auch intensiven Reinigungsprozessen stand. Es hat eine lange Lebensdauer: über 5.000 Stunden bei normaler Belastung, wobei die Leistungstoleranzen unter 5% liegen.
Warum es in der Lithografieanlage funktionsfähig bleibt:
Bei der Massenproduktion in der Lithografie ist die einzige akzeptable Zuverlässigkeit die Abwesenheit unplanter Stillstände. Dieses Ersatzteil sorgt dafür, dass die Prozesse beim Weich- und Härtebrennen reproduzierbar bleiben – somit entstehen keine Schwankungen in der Temperatur. Dadurch sind die Brennprofile stabil, es werden weniger Produkte neu bearbeitet und der Energieverbrauch sinkt dank effizienter, kontrollierter Wärmeübertragung. Installieren Sie das Ersatzteil einfach, ersetzen Sie es bei Bedarf – ohne weitere Einstellungen oder Überraschungen.
Was man beachten muss:
Stellen Sie sicher, dass das Heizelement zur jeweiligen Axcelis-Anlage, zu ihrer Leistung, Spannung und Steckverbinderkonfiguration passt. Wenn die Montagetoleranzen nicht stimmen, leidet die Gleichmäßigkeit der Temperaturverteilung – und auch die Lebensdauer des Heizelements wird beeinträchtigt. Nach der Installation sollten Sie das Thermomapping der Brennkammer noch einmal überprüfen sowie die Position des Temperatursensors im Verhältnis zum Heizelement prüfen. Schon eine kleine Abweichung kann dazu führen, dass das Brennprofil außerhalb der zulässigen Grenzen liegt.