Auf dem Lithografieboden wird die Linienbreitenkontrolle im Post-Exposure-Bake gewonnen oder verloren. Temperaturdrift von nur wenigen Grad oder Nicht-Uniformität über die Wafer, und Sie stehen vor CD-Auslenkungen und Ausschuss. Wir haben unsere PEB-Heizgeräte so konstruiert, dass diese Variabilität aus der Gleichung entfernt wird.
Was unter der Haube wichtig ist
Wir sprechen von einer Temperaturuniformität auf Wafer-Ebene von ±0,1°C über die Backfläche und einer Temperaturgenauigkeit des Fotoresists, die innerhalb des engen thermischen Budgets bleibt, das Ihr Prozess erfordert. Das Design verwendet kurzwellige Infrarotelemente für einen schnellen, sauberen Energietransfer, sodass die Anstiegsraten schnell sind, ohne Überschwinger.
Entwickelt für Reinräume der Klassen 1–100, sind das Gehäuse und die internen Einrichtungen so konstruiert, dass sie null Partikel erzeugen, wodurch die Kontaminationszahlen von Zyklus zu Zyklus niedrig gehalten werden. Die Zuverlässigkeit resultiert aus einem vereinfachten thermischen Stapel und einem soliden Regelkreis, wobei die Einheiten im Feld erprobt sind, um zehntausende von Zyklen mit minimaler Drift zu laufen.
Warum das in der Produktion wichtig ist
In hochvolumigen Fabs ist die Wiederholbarkeit des PEB die Grenze zwischen stabilen Erträgen und ständigen Stillständen. Diese Heizgeräte bieten die thermische Stabilität, die fortschrittliche Knoten erfordern, bei denen selbst kleine Temperaturverschiebungen CDs und parametrische Oberflächenfehler verursachen.
Sie enden mit engeren Verteilungen über den gesamten Lot, weniger Nacharbeit und Backzeiten, auf die Sie sich verlassen können. Der Gewinn ist eine vorhersehbare Lithografie-Leistung, weniger Ausschuss und ein täglicher Zeitplan, der stabil bleibt.
Was Sie im Voraus wissen müssen
Der Heizkörper ist ein direkter, gleichwertiger Ersatz für internationale Standards der Halbleiterausrüstung, aber die Integrationsdetails sind weiterhin wichtig. Stellen Sie sicher, dass Ihre Kammergeometrie, Montageschnittstelle und Stromversorgung mit unserem Fußabdruck und den elektrischen Spezifikationen übereinstimmen.
Die Inbetriebnahme ist kurz – gerade genug, um die Anstiegsprofile auf Ihren Fotoresiststapel abzustimmen. Sobald sie eingestellt sind, verhält sich die Einheit thermisch wie das Original, ohne dass Sie Ihr Prozessrezept neu schreiben müssen.