In den Fertigungsräumen ist eine Temperaturschwankung in einer Lam Research-Kammer keine Kleinigkeit. Sie beeinträchtigt direkt die Steuerung des CD-Verfahrens, das Profil des Fotoleitmers sowie die Gesamtqualität der hergestellten Produkte. Wenn der Heizer anfängt, unregelmäßig zu funktionieren, ändern sich auch die Temperaturen während des Weichbrennvorgangs und des Härtebrennvorgangs. Dadurch wird das thermische Gleichgewicht auf der Waferoberfläche gestört. Deshalb muss die Ersatzkomponente ein genaues thermisches Verhalten gewährleisten – und nicht einfach nur eingebaut werden.
Was technisch wichtig ist:
Wir entwickeln die Ersatzheizungen für Lam Research so, dass eine Temperaturgleichmäßigkeit auf der Waferoberfläche von ±0,1 °C über den gesamten Prozessablauf hinweg gewährleistet wird. Dadurch bleibt die Leistung des Fotoleitmers konstant. Man kann dabei zwischen Halogen-, Kurzwellen-, Mittelwellen- oder NIR-Heizelementen wählen, je nachdem, welche thermischen Eigenschaften die Kammer hat. Dadurch können Überhitzungen und Kaltstellen vermieden werden. Die Komponenten bestehen aus hochreinem Quarz und verwenden geeignete Dichtungen, damit sie in Reinräumen der Klasse 1–100 verwendet werden können. Zudem wird durch kontinuierliches Monitoring keine Partikelbildung verursacht. Die elektrischen Anschlüsse sind auf die richtige Spannung, Leistungsdichte und Steckertyp eingestellt, sodass die Komponente nahtlos in die Kontrollsysteme der Originalausrüstung integriert werden kann.
Warum ist das wichtig für die Lithografie und den Fotoleiterprozess?
Temperaturstabilität sorgt dafür, dass die Linienbreite konstant bleibt und die Defektquote sinkt. Mit dieser Heizung lassen sich die Prozessparameter besser kontrollieren, wodurch Abfälle reduziert werden und die Lebensdauer der Ausrüstung erhöht wird. Zudem wird der Energieverbrauch verringert, da die Heizung schnell anspringt und den gewünschten Temperaturwert bei minimalem Betriebsaufwand hält. Dadurch entsteht weniger thermische Belastung in der Kammer und in der gesamten Anlage.
Die Installation:
Es geht dabei darum, die Abmessungen und Anschlüsse der originalen Lam Research-Komponente genau nachzubilden. Es sollte außerdem ein kontrollierter Ausbrennvorgang sowie eine Anlaufphase stattfinden, um die Leistungsfähigkeit der neuen Komponente zu überprüfen und die Sauberkeit zu gewährleisten, bevor die Ausrüstung wieder in den Produktionsbetrieb eingeführt wird.