적외선 기술로의 전환: 스마트 팹의 열을 효과적으로 제어하기
Industry 4.0을 위한 스마트 팹을 구축한다면, 소프트웨어만으로는 충분하지 않다는 것을 이미 알고 있을 것입니다. 진짜 문제는 하드웨어입니다. 데이터를 정확하게 처리할 수 있는 장비가 필요합니다.
웨이퍼를 가열할 때는 적외선 기술을 사용합니다. 왜일까요? 그건 바로 속도 때문입니다. 정말 빠릅니다. 디지털화된 생산 라인에서는 히터가 반응하기를 기다릴 여유가 없습니다.
지연 없이, 정밀한 제어
기존의 저항식 히터들은 반응이 느립니다. 이로 인해 타이밍에 문제가 생깁니다. 하지만 적외선 기술은 다릅니다. PLC의 명령에 거의 즉각적으로 반응합니다. 또한, 전력 밀도를 높이고 크기를 줄여서 열원이 웨이퍼에 더 가까이 위치하도록 합니다. 그 결과 낭비되는 열도 줄어듭니다.
또한, 에너지 사용량을 정확하게 파악하는 데에도 도움이 됩니다. 각 웨이퍼가 실시간으로 얼마나 많은 에너지를 사용하는지 알아내려면 이러한 예측 가능성이 필요합니다.
전력과 냉각 사이의 균형
우리는 이러한 시스템을 24/7 연속으로 작동하도록 설계합니다. 단파 적외선 발진기를 사용하면 기판 깊숙이 열이 전달되어 웨이퍼 전체가 균일한 온도를 유지됩니다.
하지만 한 가지 문제가 있습니다. 처리 속도를 높이기 위해 전력을 높이면 냉각 시스템에 부담이 가집니다. 냉각 시스템이 제대로 작동하지 않으면 주변 온도가 상승하여 열 관리에 문제가 생깁니다. 이는 균형을 맞추는 문제입니다.
유지보수의 불확실성 제거
Industry 4.0이란 결국 “무슨 일이 일어나고 있는지 알고 싶다”는 의미입니다. 우리는 적외선 시스템을 폐쇄 루프 피드백 시스템을 통해 데이터 계층에 직접 연결합니다. 장비가 계속 작동하기를 바라는 대신, 발진기의 상태가 시간이 지남에 따라 어떻게 변하는지 실시간으로 확인할 수 있습니다. 출력이 특정 수준 이하로 떨어지면 시스템이 경고를 보냅니다. 그러면 발진기가 고장 나기 전에 교체 부품을 사용할 수 있습니다.
더 이상 추측할 필요가 없습니다. 더 이상 “최선을 바란다”는 식의 유지보수도 필요 없습니다. 현장에서 실제로 일어나는 일에 따라 간단하게 일정을 조절하면 됩니다.