왜 우리는 금 도금된 히터 하우징을 사용하는가?
실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 1와트라도 아끼는 것이 중요합니다. 일반적인 알루미늄이나 스테인리스 스틸을 사용한다면, 그건 에너지를 낭비하는 것과 같습니다. 이러한 재료들은 열을 너무 많이 흡수하거나, 원하지 않는 방향으로 열이 퍼져나갑니다.
그래서 우리는 금을 사용하는 것입니다.
이는 하드웨어를 화려하게 만들기 위한 것이 아닙니다. 적외선의 성질 때문입니다. 금은 장파장의 적외선을 다시 원래 위치로 반사하는 데 훨씬 효과적입니다. 하우징의 벽면이 열을 흡수하는 대신, 에너지는 그 금 표면에 부딪혀 바로 웨이퍼 쪽으로 돌아갑니다. 이렇게 해서 필요한 곳에 집중된 고밀도 열이 생성됩니다.
구조도 중요합니다.
우리는 먼저 스테인리스 스틸을 사용합니다. 왜냐하면 열이 가해져도 변형되지 않기 때문입니다. 그 다음에 금 층을 추가하여 거울처럼 반사되도록 합니다. 그 결과, 목표 온도에 더 빨리 도달할 수 있습니다. 게다가 열이 웨이퍼 전체에 균일하게 분포됩니다.
하지만 형태에도 주의해야 합니다. 측정값이 몇 밀리미터만 틀어져도 문제가 생깁니다. 우리는 램프의 초점과 완벽하게 일치하도록 형태를 조절하는 데 많은 시간을 듭니다.
기억해야 할 한 가지…
이러한 하우징들은 에너지를 제품 안으로 효과적으로 전달하기 때문에, 하우징의 외부가 매우 뜨거워질 수 있습니다. 단순히 밀폐된 상자에 넣어두기만 해서는 안 됩니다. 다른 전자 부품들이 손상되지 않도록 적절한 냉각 시스템이 필요합니다. 만약 전력을 높여도 주변의 열을 고려하지 않는다면, 램프의 필라멘트가 예상보다 훨씬 빨리 손상될 것입니다.