在提高工艺温度的同时，还要让半导体加工设备内部的温度保持较低，这确实是个难题。大多数普通加热器会将热量散布到各个地方，就像把电暖器放在纸盒里一样——最终，整个设备都会变成一个巨大的散热器。这样一来，昂贵的设备就会过热，操作人员也会担心会被烫伤。
我们找到了更好的解决方案：定向红外线加热技术。与让热量随机扩散不同，这种技术使用短波红外线灯，将能量精确地传递到需要的位置——也就是晶圆或基板的所在处。这样一来，就不会出现那种让设备外壳变热的状况了。你可以在需要加热的地方得到足够的热量，而其他部件则仍能保持低温状态。这样就不会再有机器表面被烧伤的情况了。
不过，不能随便使用普通的电线。如果使用普通的PVC电线，它几周内就会破裂或熔化。显然，它并不适合用于这种环境。因此，我们选择使用涂有特氟龙涂层的电线。这种电线能够承受极高的温度，而且即使有化学物质存在，它也不会受到影响。即便在红外线辐射的作用下，它依然能保持柔软，继续正常工作。
不过，还是需要仔细规划电线的布局。即便使用特氟龙涂层，它也有其局限性。如果电线不小心接触到正在工作的灯的石英外壳，那就麻烦了。因此，必须确保电线不会处于危险的位置上。
一旦做好屏蔽和反射装置，热量就能准确地送到需要加热的地方。这样一来，设备的空调系统就可以休息一下了，也就不必再为那些导致设备难以操作的“过热问题”而烦恼了。