Усунення озону під час нагрівання напівпровідників
Виробництво напівпровідників передбачає необхідність точного контролю температури. Але протягом довгого часу існувала серйозна проблема: традиційні методи нагрівання призводили до втрати енергії та утворення озону. Щоб це усунути, на заводах доводилось використовувати потужні системи для очищення повітря, щоб забезпечити безпеку.
Ми знайшли кращий спосіб. Завдяки використанню інфрачервоних ламп, які не використовують довжину хвилі 185 нм, ми запобігаємо розщепленню молекул кисню. Простіше кажучи – жодного озону. Ми усуваємо проблему на самому початку, а не намагаємося її виправити пізніше.
Економія енергії (та вашого здоров’я)
Якщо ви прагнете до стандартів „Зеленого заводу“, все зводиться до кількості кіловат-годин енергії, які витрачаються на обробку одного пластинчастого матеріалу.
Наші інфрачервоні системи використовують пряме випромінювання тепла. Ви не витрачаєте енергію на нагрівання всього повітря в камері – тепло подається безпосередньо на сам матеріал. Це значно краще за старі конвективні печі, які розсіюють тепло всюди.
Крім того, ці лампи досягають потрібної температури за кілька секунд. Не потрібно чекати довгих часів на нагрівання.
Реальність
Це не є чимось чарівним. Високоінтенсивне інфрачервоне випромінювання створює велику кількість тепла. Якщо ви хочете швидко досягти потрібної температури, необхідно переконатися, що система охолодження може впоратися з цим. Інакше може статися перегрівання решти елементів обладнання. Ми зазвичай рекомендуємо використовувати разом з цими лампами контролери PID. Це дозволяє контролювати рівень енергоспоживання та запобігати перевищенню температури.
Свіже повітря в чистій кімнаті
Найкраще те, що коли не утворюється озон, не потрібно активувати систему вентиляції для видалення токсичних газів. Системи обробки повітря можуть нарешті відпочити. Кменша потужність вентиляторів означає менше викидів вуглецю.
Для інженерів це проста заміна – процес стає більш ефективним, без необхідності використання складних хімічних систем очищення. Це просто працює.