На виробничій лінії зміна температури на рівні 1°C під час процедури випалювання фотополімеру є серйозною проблемою – це не просто незначна зміна на дисплеї. Це призводить до змін ширини ліній на поверхні пластини, а також до появи дефектів після етапу обробки. Ми створили інфрачервоні нагрівачі для напівпровідників, які допомагають усунути ці негативні ефекти.
Що має значення з технічної точки зору
Ми використовуємо короткохвильові інфрачервоні випромінювачі, які передають тепло безпосередньо на пластину та підкладку через швидку та пряму передачу енергії. Це забезпечує швидку реакцію та однорідність температури на всій поверхні пластини в межах ±0,1°C. Така точність дозволяє краще контролювати критичні розміри під час процедури літографії та забезпечує стабільні результати після етапу обробки.
Система підходить для використання в чистих приміщеннях класу 1–100. Вона також забезпечує нульову кількість частинок під час стабільної роботи. Рівень вихідної потужності залишається стабільним протягом понад 5 000 годин, з різницею менше 5% – це дозволяє експлуатувати систему 24/7 з мінімальним обслуговуванням.
Чому це ефективно саме там, де це потрібно
Під час обробки фотополімеру процедури „м’якого“ та „жорсткого“ випалювання визначають процес видалення розчинників та процес склеювання полімерних молекул. Завдяки нашим лампам температурний профіль на поверхні пластини є стабільним, що запобігає появі дефектів та забезпечує точні результати після етапу експозиції та обробки.
Швидкий тепловий цикл також скорочує час обробки, що підвищує продуктивність обладнання без збільшення споживання енергії. У виробництві це означає менше необхідності переробки продукції, стабільний рівень вихідної продукції та нижчі витрати на обробку однієї пластини.
Практичні деталі
Лампи є компактними та модульними, але точне вирівнювання щодо площини пластини є ключовим фактором. Необхідно забезпечити точну фокусування випромінювача щодо підкладки, а також наявність механізмів контролю температури. Інтеграція ламп у систему є простою, хоча теплова маса може змінюватися залежно від конструкції пристрою для тримання пластини. Перед впровадженням ламп у серійну експлуатацію необхідно провести тестування для підтвердження їх ефективності.