Yarı mamul ısıtımında ozonun kullanımından vazgeçmek
Yarı iletken üretiminde önemli olan şey, ısının tam olarak doğru seviyede olmasıdır. Ancak uzun süredir karşılaştığımız bir sorun var: Geleneksel ısıtma yöntemleri enerji kaybına neden oluyor ve ozon üretiyor. Bunun üstesinden gelmek için fabrikaların hava kalitesini korumak amacıyla büyük ve çok enerji tüketen arıtma sistemlerini kullanmaları gerekiyor.
Daha iyi bir yol bulduk. 185 nm dalga boyundan kaçınan kızılötesi lambalar kullanarak oksijen moleküllerinin parçalanmasını engelliyoruz. Basitçe söylemek gerekirse: Ozon oluşmuyor. Sorunu sonradan temizlemeye çalışmak yerine kökeninde çözüyoruz.
Enerji tasarrufu (ve zihinsel rahatlık)
“Yeşil fabrika” hedeflerine ulaşmak istiyorsanız, her wafer başına ne kadar kilovatsaat enerji harcadığınız önemlidir.
Kızılötesi sistemlerimizin avantajı, doğrudan radyant ısı kullanmasıdır. Odadaki tüm havayı ısıtmak için enerji boşa harcanmıyor; sadece yüzey ısıtılıyor. Bu, ısıyı her yere yayandan eski konveksiyon fırınlarından oldukça farklıdır.
Ayrıca bu lambalar hedef sıcaklığa saniyeler içinde ulaşıyor. Artık uzun bekleme süreleri olmadan işlem yapabilirsiniz.
Gerçekler
Bu bir sihirli değnek değil. Yüksek yoğunluktaki kızılötesi ışınlar çok fazla ısı üretir. Eğer çok hızlı ısınma sağlamak istiyorsanız, soğutma sistemlerinizin bunu kaldırabileceğinden emin olmalısınız. Aksi takdirde diğer bileşenler aşırı ısınabilir. Genellikle bu sistemlerle PID kontrol cihazları birlikte kullanılır. Böylece enerji kontrol altında tutulur ve sıcaklık belirlenen sınırların dışına çıkmaz.
Temiz odalarda ferah bir hava
En iyi yanı ise HVAC sistemleridir. Ozon üretimi durduğunda, toksik gazları ortadan kaldırmak için aşırı hava akışına gerek kalmaz. Hava işleme üniteleri sonunda dinlenebilir. Daha az fan gücü, daha düşük karbon ayak izi anlamına gelir.
Fabrikadaki mühendisler için ise bu oldukça basit bir çözümdür. Karmaşık kimyasal arıtıcılar kullanmadan daha temiz bir üretim süreci elde edilebilir. Gerçekten de işe yarıyor.