Üretim alanında, fotorezistin ısıtılması sırasında meydana gelen 1°C’lik bir değişiklik, sadece monitörde görülen bir sapma değildir. Bu durum, çizgi genişliğindeki değişiklikler, aşındırma işlemindeki hatalar ve atık waferler şeklinde kendini gösterir. Biz de bu tür değişkenlikleri ortadan kaldırmak için yarı iletkenler için özel kızılötesi ısıtma lambaları geliştirdik.
Teknik açıdan önemli olanlar Kısa dalga boyundaki kızılötesi ısı vericiler kullanarak ısıyı doğrudan wafer ve substrata aktarıyoruz. Böylece saniyeler içinde tepki alınabiliyor ve waferin tüm yüzeyinde ±0,1°C hassasiyetle eşitlik sağlanıyor. Bu tür hassasiyet, litografi işlemlerinde daha iyi kontrol mümkün kılıyor ve aşındırma işleminden sonra da tutarlı sonuçlar elde edilmesini sağlıyor.
Sistem, temiz oda koşullarına uygun olup, Class 1–100 ortamlarıyla uyumludur. Ayrıca, sabit çalışma durumunda partikül sayısını sıfır seviyesinde tutacak şekilde tasarlanmıştır. 5.000 saatten fazla süre boyunca çıkış gücü stabil kalır ve yoğunlukta %5’ten az bir değişiklik olur; böylece minimum bakım gerektirerek 24/7 çalıştırılabilir.
Neden ihtiyacımız olduğu yerde işe yarıyor? Fotorezist işlemlerinde, yumuşak ve sert ısıtma adımları ile çözücülerin uzaklaştırılması ve polimerlerin birbirine bağlanması gerçekleşir. Lambalarımız sayesinde waferin tüm yüzeyindeki sıcaklık profili tekrarlanabilir olur; böylece daha tutarlı yapışma, daha az hata ve tahmin edilebilir sonuçlar elde edilir.
Hızlı ısı döngüsü ayrıca odanın dönüş süresini kısaltarak üretim kapasitesini artırır; ancak enerji tüketimi artmaz. Üretimde bu durum, daha az yeniden işleme gerekliliği, stabil verimlilik ve wafer başına daha düşük maliyet anlamına gelir.
Pratik detaylar Lambalar kompakt ve modüler yapıdadır; ancak wafer yüzeyiyle olan hizalanması çok önemlidir. İşaretleyicilerin substrata olan mesafesinin doğru ayarlanması gerekmektedir. Ayrıca, araç tarafındaki kilitleme mekanizmalarının ve sıcaklık geri bildirim döngülerinin yerinde olması gerekir.
Çoğu taban ve ısıtma plakası üzerinde entegrasyon oldukça basittir; ancak chuck tasarımına bağlı olarak termal kütte değişiklikler olabilir. Uygulamaya başlamadan önce bir test yaparak parametreleri doğru şekilde ayarlayın.