Het vermijden van ozon bij het verwarmen van halfgeleiders
Bij de productie van halfgeleiders is het belangrijk om de temperatuur precies onder controle te houden. Maar al lang hebben we te maken met een vervelend probleem: traditionele verwarmingssystemen zorgen er namelijk voor dat er energie verloren gaat en dat er ozon wordt geproduceerd. Om dit op te lossen, moeten fabrieken enorme, energie-intensieve systemen gebruiken om de lucht schoon te houden.
We hebben een betere manier gevonden. Door infraroodlampen te gebruiken die geen golflengte van 185 nm gebruiken, voorkomen we dat zuurstofmoleculen uiteenvallen. Met andere woorden: geen ozon meer. We lossen het probleem bij de bron op, in plaats van het later nog te proberen te herstellen.
Energiebesparing (en minder stress)
Als je streeft naar ‘groene fabrieken’, komt het erop neer hoeveel kilowattuur je per chip verbruikt. Onze IR-systemen maken gebruik van directe stralingswarmte. Er wordt geen energie verspild aan het opwarmen van de lucht in de kamer; de warmte wordt rechtstreeks op het materiaal gericht. Dit is een groot verschil met de oude convectieovens, waarbij de warmte overal heen gaat. Bovendien bereiken deze lampen de gewenste temperatuur in slechts enkele seconden. Geen lang wachten meer op het opwarmen van de apparatuur.
De realiteit
Het is natuurlijk geen magische oplossing. Infraroodstraling zorgt voor veel warmte. Als je een systeem wilt gebruiken dat zeer snel kan worden opgewarmd, moet je ervoor zorgen dat de koelsystemen het aankunnen. Anders zal de rest van de apparatuur oververhit raken. We raden aan om deze systemen te combineren met PID-regelaars. Hierdoor blijft de temperatuur onder controle.
Een frisse ademtocht in de schone ruimtes
Het mooiste is dat je geen zware ventilatiesystemen meer nodig hebt, omdat er geen ozon meer wordt geproduceerd. Je airhandlingunits kunnen eindelijk even rusten. Meer energiebesparing betekent ook een kleinere broeikaseffect. Voor de ingenieurs betekent dit dat ze geen complexe chemische zuiveringsapparaten meer hoeven te gebruiken. Het werkt gewoon.