Op de productielijn betekent een temperatuurschommeling van 1°C tijdens het verhitten van de fotoresist niet zomaar een klein probleem. Het leidt tot variaties in de dikte van de lijnen op de wafer, ongelijke verhitting en extra afvalwafern. We hebben onze infraroodverwarmingslampen zo ontworpen dat deze deze variabiliteiten kunnen wegnemen uit het thermische proces.
Wat technisch gezien belangrijk is: We gebruiken kortegolf-infraroodemitters die de warmte rechtstreeks in de wafer en het substraat overdragen. Hierdoor wordt er binnen segundos een evenwicht bereikt, zodat de temperatuur over het hele oppervlak van de wafer binnen ±0,1°C blijft. Deze precisie zorgt voor een betere controle over de afmetingen van de wafer en voor consistente resultaten na het eten van de laag.
Het systeem is geschikt voor gebruik in schone kamers en werkt goed in omgevingen van klasse 1–100. Tijdens het continu gebruik blijft de output stabiel, met minder dan 5% afwijking in intensiteit. Hierdoor kan het systeem 24/7 draaien, met minimale onderhoudskosten.
Waarom het werkt waar het nodig is: Bij het verwerken van fotoresist bepalen de verschillende verhittingsstappen hoe snel de oplosstoffen worden verwijderd en hoe de polymeren met elkaar worden verbonden. Met onze lampen is de temperatuuroverdracht over de wafer consistent, waardoor er minder defecten ontstaan en de kwaliteit van de wafer beter is na het exponeren en eten van de laag.
De snelle thermische cyclus verkort ook de tijd die nodig is om de wafer te verhitten. Hierdoor kan er meer geproduceerd worden, zonder dat de energieverbruik toeneemt. In de productie betekent dit minder herwerkingskosten en lagere kosten per wafer.
De praktische details: De lampen zijn compact en modulair, maar het is belangrijk dat ze goed zijn georiënteerd ten opzichte van het oppervlak van de wafer. Zorg ervoor dat de afstand tussen de emitter en het substraat precies is ingesteld. Er moeten ook mechanismen zijn om de temperatuur in de gaten te houden.
Het integreren van de lampen in de productielijn is gemakkelijk, hoewel de thermische massa afhangt van het ontwerp van de chuck. Voer eerst een test uit om de instellingen te bepalen, voordat je het systeem in productie gebruikt.