Het stoppen van deze nachtmerrie: het behouden van schone wafers met IR-lampen die zijn bedekt met goud
In een halfgeleiderfabriek is het niet zomaar een ‘technisch probleem’ of een korte stilstand als een lamp kapotgaat. Het is een ramp. Als een kwartsbuis kapotgaat terwijl de fabriek op volle toeren draait, vallen er scherven en andere restanten op de wafers. Eén kapotte lamp kan tot ernstige vervuiling leiden.
We ontwikkelen onze IR-lampen met een goudlaag speciaal om dit te voorkomen.
Waarom goud?
Stel je een gewone kwartslamp voor als een gloeilamp: deze geeft warmte af naar alle kanten. Dat is verspilling. Door een dunne laag goud op de achterkant van de buis aan te brengen, creëren we in feite een spiegel. Alle infraroodenergie wordt dan rechtstreeks op de wafer gericht.
Het grote voordeel is dat de warmte geconcentreerd wordt. Hierdoor hoeft het filament niet tot het uiterste te werken om de gewenste temperatuur te bereiken. Minder belasting op het filament betekent dat het minder kans heeft om kapot te gaan. Het is dus een veiliger manier van werken.
Het maken van producten die niet kapotgaan
We gebruiken synthetisch kwarts van hoge zuiverheid, omdat dit materiaal bestand is tegen grote temperatuurschommelingen zonder dat het breekt.
Maar de echte gevaarzone is de plek waar de draden in contact komen met het glas. Hier gaan de meeste lampen kapot. We hebben deze punten versterkt, zodat het glas zich kan uitrekken en samentrekken zonder te breken.
Een paar tips over de nadelen
Niets is perfect. Hoewel de goudlaag de lamp efficiënter maakt, zorgt het er ook voor dat de achterkant van de buis warmer wordt. Controleer dus goed of de koelingssysteem werkt. Als de luchtcirculatie te zwak is, kan er warmte opgehoopt raken aan de uiteinden van de lamp. Zorg ervoor dat de lucht goed circuleert, dan is alles in orde.
Hoe ze worden gebruikt
Deze lampen kunnen gemakkelijk worden gebruikt als vervanging voor de bestaande verwarmingssystemen. Geen gedoe nodig.
Nog een tip: houd de spanning stabiel. Schokken in de stroom kunnen schade toebrengen aan het filament. Als je de stroomvoorziening goed onderhoudt, blijven de kwartsbuisjes langer goed functioneren. Dan hoef je je geen zorgen te maken over glasscherven in je schone ruimte.