Stop met het laten gebeuren dat je verwarmingsapparaten je wafer beschadigen
In een semiconductiefabriek of een laboratorium voor hoge precisieoptica kan één klein stofdeeltje al voldoende zijn om een hele wafer te vernietigen. Het enige wat nodig is, is één enkel deeltje.
Maar hier is het probleem: wanneer je warmte nodig hebt in een klasse-100 schone ruimte, zijn de gebruikelijke verwarmingsapparaten geen goede oplossing. Ze geven gassen af en veroorzaken vuil. Ze zijn gewoon te onzuiver.
Om dit op te lossen, gebruiken we schilden gemaakt van synthetisch kwartsglas van hoge zuiverheid voor onze IR-lampen. Dit is de enige manier om de benodigde warmte te krijgen, zonder dat er vuil ontstaat.
Waarom kwarts werkt
We gebruiken niet zomaar gewoon glas. We gebruiken gesmolten silicium. De reden is simpel: het lekt geen vluchtige organische verbindingen of metalen ionen wanneer het heet wordt. Gewoon glas wordt zachter en breekt onder druk. Kwarts blijft echter stabiel en helder, zelfs bij extreme temperaturen. Hierdoor gaat de infrarode straling precies waar het nodig is, en blijft het schild onzichtbaar en inert.
Geen scherven
Stel je het schild voor als een bodyguard: het staat tussen de verhittingselementen en je producten. Goedkope schilden zijn een nachtmerrie: ze breken onder thermische schokken en veroorzaken microscopische scherven die in de productielijn terechtkomen. Onze schilden zijn zo ontworpen dat ze snel kunnen worden opgewarmd en afgekoeld, zonder dat ze breken.
We houden ook de toleranties zeer nauwkeurig in de gaten. Het schild past perfect, zodat er geen lucht rondom kan bewegen en er geen stof op de vloer terechtkomt.
Eén nadeel
Er is echter wel een nadeel: kwarts van hoge zuiverheid reageert negatief op oppervlaktesvetten. Als een technicus het glas met blote handen aanraakt, komen de vetten in het kwarts terecht wanneer het heet wordt. Dit veroorzaakt “ hete punten”, die gevaarlijk kunnen zijn. Ze kunnen zelfs ervoor zorgen dat de lamp te vroeg kapotgaat.
Dus gebruik alsjeblieft handschoenen zonder vezels. Maak alles schoon met isopropylalcohol. Zorg ervoor dat de bedrading goed is aangesloten en dat de schilden perfect schoon blijven. Op deze manier behoud je de kwaliteit van je schone ruimte, terwijl je toch voldoende warmte hebt.