Smettete di trasformare i vostri strumenti MEMS in “forni”. Se avete mai utilizzato un riscaldatore a convezione per asciugare i wafer, sapete bene quali siano le difficoltà. Si cerca di asciugare il wafer, ma in realtà si riscalda l’intera camera di lavoro. Le pareti interne dello strumento assorbono tutta quell’energia, come se fossero delle spugne. Il risultato? L’esterno della macchina diventa pericolosamente caldo al tatto, e la bolletta elettrica aumenta notevolmente. È uno spreco di risorse.
Abbiamo trovato un modo migliore: il riscaldamento ad onde infrarosse direzionali.
Come funziona effettivamente
Pensateci così: il riscaldamento a convezione è come cercare di riscaldare una persona singola riscaldando ogni centimetro cubo d’aria presente nella stanza. È inefficace. Il riscaldamento ad onde infrarosse invece utilizza onde elettromagnetiche per inviare l’energia direttamente sulla superficie del wafer. Non c’è bisogno di riscaldare l’aria o le pareti; basta concentrare il calore esattamente dove è necessario che l’acqua evapori. Il telaio in acciaio dello strumento rimane quindi fresco, poiché l’energia viene concentrata esattamente dove serve.
I dettagli importanti… e i pericoli
Di solito utilizziamo emettitori ad onde infrarosse a breve lunghezza d’onda. Perché? Perché i materiali utilizzati nei processi di essiccazione dei wafer assorbono meglio queste onde. Inoltre, è possibile abbinarli a controller ad alta velocità di reazione, così da evitare che i wafer vengano riscaldati involontariamente. Ma c’è un problema: le lampade a onde infrarosse emettono molto calore. Se l’allineamento non è preciso, anche di pochi millimetri, si creano zone troppo calde sul wafer, oppure si riscalda un componente che non dovrebbe essere riscaldato. Bisogna quindi scegliere con cura i riflettori, in modo da ottimizzare l’angolo di irradiazione.
Perché questo semplifica le cose
Una volta eliminato il problema delle pareti calde, tutto diventa più semplice. Gli operatori non devono più preoccuparsi di scottarsi mentre si avvicinano allo strumento. Il sistema di climatizzazione non deve più sforzarsi per mantenere la stanza fresca, poiché lo strumento non competere con l’ambiente circostante. Il processo diventa più veloce, occupa meno spazio… E, onestamente, tutto diventa meno complicato.