Riscaldatore per essiccazione dei wafer dei sensori MEMS
Smettete di trasformare i vostri strumenti MEMS in “forni”. Se avete mai utilizzato un riscaldatore a convezione per asciugare i wafer, sapete bene...
Lampada di essiccazione per la produzione di OLED
Sulla linea OLED, non si ottiene alcun margine. Una prebake che varia anche di 1°C modifica il profilo del fotoresist. Una postbake senza uniformità...