על הרצפה, 24/7, המכון אינו יכול להתמודד עם שום בעיות תרמיות. אם אחד מרכיבי החימום מתחיל לאבד את יעילותו, הטמפרטורות הנדרשות לתהליכי האפייה יוצאות מהטווח המותר. זה גורם לבעיות בתהליך הליתוגרפיה, והוופרים נזרקים. לוחות הזמנים מתעכבים. אנו משתמשים ברכיבי חימום חלופיים של Axcelis כדי למנוע בעיות אלו מראש.
מה חשוב מבחינה טכנית? רכיבי החימום האלו נועדו לשמור על אחידות תרמית ברמת הוופר, כך שהטמפרטורה תישאר בטווח של ±0.1°C מהערך הרצוי. החומרים ממנו עשויים הרכיבים, בשילוב עם תגובתם לקרינת אינפרא-אדום, מאפשרים עלייה מהירה וחזרתית בטמפרטורה, עם סטיות מינימליות – בדיוק מה שנדרש כדי לשמור על שליטה טובה בטמפרטורה בתהליכי הליתוגרפיה המתקדמים. הרכיבים מתאימים לשימוש בחדרים נקיים מסוג Class 1–100, אינם יוצרים חלקיקים, והמשטח שלהם עמיד בפני ניקוי באמצעות חומרים חריפים. ניתן לצפות לחיי שירות ארוכים: למעלה מ-5,000 שעות של פעולה, עם סטיות של פחות מ-5%.
למה הם עמידים בתהליכי ליתוגרפיה? בתהליכי ליתוגרפיה בהיקף גדול, הדבר היחיד שחשוב הוא היעדר זמן עצירה בלתי צפוי. רכיבי החימום החלופיים האלו שומרים על חזרתיות בתהליכי האפייה, כך שאין סטיות בטמפרטורה. התוצאה היא פרופילי אפייה יציבים, פחות צורך בתיקונים, ושימוש יעיל יותר באנרגיה. יש להתקין אותם, להחליף אותם כשצריך, ולהמשיך לעבוד – בלי צורך בהתאמות או הפתעות.
על מה יש לשים לב? יש לוודא שהרכיבים מתאימים לדגם הספציפי של המכשיר Axcelis, לרמת ההספק, המתח והחיבורים שלו. אם הטווחים של ההתקנה או החיבור אינם תואמים, האחידות התרמית נפגעת, וחיי השירות של הרכיבים קטנים. לאחר ההתקנה, יש לבדוק שוב את המפה התרמית של חדר האפייה, ולוודא את מיקום חיישן הטמפרטורה ביחס לרכיבי החימום. אפילו סטייה קטנה יכולה לגרום לסטיות בטמפרטורה מהערך הרצוי.