בחדר הייצור, שינוי של 1°C בטמפרטורה במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט אינו רק “נקודה קטנה” על המסך – הוא מתבטא בשינויים בעובי הקווים, בסטיות בתהליך החריטה, ובהרס של הוואפרים. פיתחנו נורות חימום באור אינפרא-אדום שמסייעות להפחית את השינויים האלו.
מה חשוב מבחינה טכנית
אנו משתמשים בגופי פליטה באור אינפרא-אדום בגלים קצרים, שמעבירים חום ישירות לוואפר ולתשתית שלו, באמצעות העברה מהירה וישירה של החום. כך ניתן להשיג תגובה בתוך שניות בודדות, ואחידות בטמפרטורה ברמה של ±0.1°C על כל שטח הוואפר. רמת דיוק כזו מאפשרת שליטה טובה יותר בממדים הקריטיים בתהליך הליתוגרפיה, וכן תוצאות עקביות לאחר תהליך החריטה.
המערכת מתאימה לשימוש בחדרים נקיים, ויכולה לעבוד בסביבות מסוג Class 1–100. היא מתוכננת כך שתשמור על רמת חלקיקים אפסית במהלך הפעולה הרגילה. ההספק של המערכת נשאר יציב לאורך יותר מ-5,000 שעות, עם שינוי בעוצמה של פחות מ-5%. לכן ניתן להשתמש בה 24/7, עם צורך מינימלי בתחזוקה.
למה זה עובד בדיוק במקומות שאנו צריכים את זה
בתהליך עיבוד הפוטורזיסט, שלבי החימום השונים קובעים את רמת ההסרה של הממסים ואת רמת החיבור בין הפולימרים. באמצעות הנורות שלנו, ניתן לשלוט בטמפרטורה על כל שטח הוואפר, כך שניתן להשיג דבקות טובה יותר של החומרים, פחות פגמים, וביצועים עקביים לאחר החשיפה והחריטה.
המחזור התרמי המהיר מקצר את זמן העבודה של המערכת, ובכך מגדיל את הקצב שבו ניתן לייצר ואפרים. בייצור, זה משמעותו פחות עבודות תיקון, תפוקה יציבה, ועלויות תפעול נמוכות יותר לכל ואפר.
הפרטים המעשיים
הנורות הן קומפקטיות ומודולריות, אך ההתאמה שלהן למישור הוואפר היא חשובה מאוד. יש לוודא שהמרחק בין הגוף הפולט לוואפר הוא מדויק, וכן שיש שליטה על הטמפרטורה. האינטגרציה של הנורות למערכת היא פשוטה, אך המסה התרמית משתנה בהתאם לעיצוב הוואפר. יש לבצע בדיקות קצרות לפני השימוש הסדיר במערכת.