Verzicht auf Ozon bei der Halbzeugbeheizung
Bei der Herstellung von Halbleitern ist es entscheidend, die Temperatur genau unter Kontrolle zu halten. Doch seit langem gibt es ein Problem: Traditionelle Heizmethoden führen dazu, dass Energie verloren geht und Ozon entsteht. Um diesem Problem entgegenzuwirken, müssen die Fabriken enorme, energieintensive Reinigungssysteme einsetzen, um die Luft sauber zu halten.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden. Durch den Einsatz von Infrarotlampen, die eine Wellenlänge von 185 nm vermeiden, wird verhindert, dass Sauerstoffmoleküle zerfallen. Mit anderen Worten: Kein Ozon. Das Problem wird an der Quelle beseitigt, anstatt später versucht werden zu müssen, es wieder zu entfernen.
Energieeinsparung – und damit auch Ihre Ruhe
Wenn Sie die Ziele einer „grünen Fabrik“ erreichen möchten, kommt es darauf an, wie viele Kilowattstunden pro Wafer verbraucht werden. Unsere Infrarotsysteme nutzen direkte Strahlungshitze. Dadurch wird keine Energie verschwendet, indem die gesamte Luft im Behälter erhitzt wird – die Hitze trifft direkt auf das Substrat. Das ist ganz anders als bei den alten Konvektionsöfen, bei denen die Wärme überallhin abgegeben wird.
Außerdem erreichen diese Lampen die gewünschte Temperatur in Sekundenschnelle. Es muss nicht mehr lange gewartet werden, bis die Maschine vollständig warm ist.
Die Realität
Es handelt sich dabei zwar nicht um einen „Zauberstab“, aber hochintensive Infrarotstrahlen erzeugen viel konzentrierte Wärme. Wenn man ein System für eine sehr schnelle Erhitzung einrichtet, muss man sicherstellen, dass die Kühlsysteme damit umgehen können. Andernfalls kann der Rest des Geräts überhitzt werden. Wir empfehlen daher, diese Systeme mit PID-Controllern zu kombinieren. Dadurch bleibt die Temperatur unter Kontrolle.
Frische Luft in der Saalreinraumtechnik
Das Beste ist, dass dadurch keine giftigen Gase mehr entstehen. Die Lüftungsanlagen können endlich eine Pause machen. Weniger Energieverbrauch bedeutet auch eine geringere Kohlenstoffbilanz. Für die Ingenieure auf dem Boden bedeutet das einfach einen sauberen Arbeitsablauf – ohne dass komplizierte chemische Reinigungssysteme notwendig sind. Es funktioniert einfach.