Den Albtraum beenden: Die Wafer sauber halten mit goldbeschichteten IR-Lampen
In einer Halbleiterfabrik ist das Platzen einer Lampe keine „technische Störung“ oder nur eine kurze Unterbrechung in der Produktion – es handelt sich dabei um eine Katastrophe. Wenn eine Quarzröhre während des Betriebs platzt, fallen Glassplitter und andere Schäden auf die Wafer. Ein solcher Vorfall führt zu einer katastrophalen Kontamination aller Wafer.
Wir entwickeln unsere goldbeschichteten IR-Lampen speziell dafür, dass so etwas nicht passiert.
Warum Gold?
Stellen Sie sich eine herkömmliche Quarzlampe wie eine Glühbirne vor – sie gibt Wärme überall ab. Das ist verschwenderisch. Durch das Hinzufügen einer dünnen Goldschicht auf der Rückseite der Röhre entsteht im Grunde ein Spiegel. Die gesamte IR-Energie wird thus direkt auf die Wafer gelenkt.
Der Vorteil: Da die Wärme konzentriert wird, muss der Filament nicht bis an seine Grenzen belastet werden, um die gewünschte Temperatur zu erreichen. Dadurch wird die Wahrscheinlichkeit, dass der Filament ausbrennt oder die Röhre zerbricht, erheblich verringert. Es handelt sich dabei also um eine sicherere Art zu arbeiten.
Produkte, die nicht kaputtgehen
Wir verwenden hochreinen synthetischen Quarz, da dieser den „thermischen Schock“ durch schnelle Temperaturschwankungen verkraften kann, ohne zu zerbrechen.
Doch die eigentliche Gefahrenzone ist der Übergangspunkt zwischen den Drahten und dem Glas. Genau dort versagen die meisten Lampen. Wir haben diese Übergangspunkte verstärkt, damit das Glas bei hohen Temperaturen noch ausdehnen und sich zusammenziehen kann, ohne zu brechen.
Ein paar Hinweise zu den Vor- und Nachteilen
Nichts ist perfekt. Obwohl die Goldbeschichtung die Effizienz der Lampe erhöht, macht sie die Rückseite der Röhre auch heißer. Überprüfen Sie daher unbedingt Ihre Kühlsysteme. Wenn die Luftzufuhr zu schwach ist, sammelt sich Wärme an den Enden der Lampe – das kann im Laufe der Zeit zu Schäden am Verschluss führen. Stellen Sie sicher, dass die Luft weiterhin zirkuliert – dann ist alles in Ordnung.
Einsatz der Lampen
Diese Lampen sind als einfache Ersatzteile für Ihre bestehenden Heizsysteme konzipiert. Keine Komplikationen.
Ein letzter Tipp: Achten Sie auf die Stabilität der Spannung. Starke Stromspitzen können den Filamenten schaden. Wenn Sie Ihre Stromversorgung ordentlich pflegen, halten die Quarzröhren länger – und Sie können beruhigt sein, dass in Ihrem Saal keine Glassplitter vorhanden sind.