Auf dem Fertigungsboden ist der thermische Drift während des Backens von Fotolack oder der Wafer-Trocknung nicht nur ein Durchsatzkiller. Er verändert kritische Dimensionen und verringert leise den Ertrag. Wir haben unsere Nahinfrarot (NIR) Emitterlampen entwickelt, um das thermische Verhalten zyklusweise vorhersehbar zu halten.
Was unter der Haube wichtig ist
NIR bietet volumetrische Erwärmung mit niedriger thermischer Trägheit, sodass die Lampenoberfläche kühler bleibt, während die Energie in den Film oder das Substrat eindringt. Das bedeutet schnellere Aufheiz- und Abkühlzeiten und verkürzt die Stationierungszeit, ohne die Kontrolle aufzugeben. Im beleuchteten Bereich hält die Wafer-Ebene-Uniformität bei ±0,1°C, und die Wiederholgenauigkeit bleibt unter 24/7-Betrieb stabil. Der Quarzumschluss und die interne Geometrie sind für den Einsatz in Reinräumen der Klasse 1–100 optimiert, mit einem prozessbewährten Design, das die Partikelerzeugung auf null hält. Die Leistung bleibt über 5.000+ Stunden stabil, mit minimalem spektralen Drift, der andernfalls die Empfindlichkeit des Fotolacks und die Aushärtungsprofile beeinträchtigen könnte.
Warum dies in realen Prozessen relevant ist
In der Lithografie benötigen Sie ein konsistentes Softbake, um die Filmdicke zu fixieren und stehende Wellen zu reduzieren. In der Verpackung benötigen Sie eine Aushärtung, die im Rahmen bleibt – kein Überschießen, das Schichten delaminiert. Unsere NIR-Lampen bieten Ihnen die Temperaturgenauigkeit und Reaktionsgeschwindigkeit, um diese Ziele zuverlässig zu erreichen. Wafer-Trocknung und -Reinigung erfolgen schneller, mit weniger Restfeuchtigkeit und einem geringeren Risiko des Musterschwunds. Der Energieverbrauch sinkt, da die Lampe das Ziel und nicht die Kammerwände erwärmt. Der Vorteil sind weniger Ausschusspartien, stabile Kontrolle der kritischen Dimensionen und planbare Wartungsintervalle.
Was Sie beachten sollten, wenn Sie es implementieren
NIR ist von Natur aus Sichtlinie, daher müssen die Ausrichtung der Vorrichtung und der Abstand zum Ziel innerhalb enger Toleranzen bleiben. Die Integration erfordert Aufmerksamkeit auf die Reflektor-Geometrie und Abschirmung, um Hotspots auf benachbarten Materialien zu vermeiden. Planen Sie das thermische Management rund um die Fassung und bestätigen Sie die Kompatibilität mit dem Abgas- und Vibrationsprofil Ihrer Kammer. Wenn diese Details erledigt sind, arbeitet die Lampe wie spezifiziert – konsistent, sauber und wiederholbar.