晶圆加工设备用温度传感器

为何我们如此重视晶圆传感器的绝缘测试 晶圆制造设备的工作环境极其恶劣。在极高的温度以及严格的电气性能要求下，任何误差都是不可接受的。 试想一下：如果温度传感器或加热器出现微小的绝缘缺陷，那么控制器板就可能被毁，或者一批硅晶圆也会随之报废。这无疑是一场噩梦，没人希望经历这种事情。 因此，我们不会采取...