
为何我们如此重视晶圆传感器的绝缘测试
晶圆制造设备的工作环境极其恶劣。在极高的温度以及严格的电气性能要求下,任何误差都是不可接受的。
试想一下:如果温度传感器或加热器出现微小的绝缘缺陷,那么控制器板就可能被毁,或者一批硅晶圆也会随之报废。这无疑是一场噩梦,没人希望经历这种事情。
因此,我们不会采取“随机抽样”的方式来检测产品。每一件离开我们工厂的产品都必须经过100%的耐压测试和绝缘电阻测试,没有例外。
挑战极限
我们的测试方法就是对绝缘层进行压力测试,以找出其薄弱点。我们会给传感器施加远高于其正常工作时的电压,以此检测是否有泄漏现象。如果绝缘层上有孔洞或薄弱点,电流就会直接穿过这些地方。
如果传感器在我们的测试中烧毁了?那反而是好事!因为这意味着我们能在问题出现时就发现它,而不是等到它被安装到价值数百万美元的设备上之后才发现问题。
“足够好”是不够的
在这个行业里,1%的故障率就已经足以造成灾难性后果。一个有缺陷的传感器就足以让整批晶圆报废。
我们会用兆欧表来测量绝缘电阻,确保导电核心与外层绝缘层完全隔离。如果这种隔离效果不理想,就会产生寄生电流,而这类电流会干扰PID控制算法的运行,导致数据出现异常。
必须付出的代价
当然,如此严格的测试需要时间,这可能会延长产品的交付时间。而且,这些设备本身也容易受到损伤。即使再好的绝缘材料,经过数千次高温循环后也会逐渐失效。虽然我们的测试能够确保传感器在出厂时就是完美的,但随着时间的推移,还是需要继续监测其绝缘性能。
我们设计的传感器就是为了能够在高温环境中正常工作。通过确保每一个部件的电气隔离性能,我们可以消除安全隐患。用户只需将它们接入设备即可开始使用。