Axcelis加热元件备件

在印刷厂里，24小时不间断地运行，任何温度上的波动都可能带来严重问题。一旦某个加热元件出现故障，那么软烘烤和硬烘烤时的温度就会偏离标准范围。这样一来，光刻工艺的精度就会下降，晶圆也会被废弃。生产计划也会受到影响。我们使用Axcelis品牌的备用加热元件来避免这种情况的发生。 从技术角度来说，重要的...