近红外 (NIR) 发射灯泡

在制造车间，光刻胶烘烤或晶圆干燥过程中的热漂移不仅仅是降低产量的问题。它会影响关键尺寸，并悄然吞噬良率。我们设计了近红外（NIR）发射器灯泡，以保持热行为的可预测性，确保每个周期都保持一致。 底层关键点 NIR提供了低热惯性的体积加热，因此灯泡表面即使在能量传递到薄膜或基板时也能保持较低温度。这意...