웨이퍼 공정용 온도 센서

왜 웨이퍼 센서의 절연 테스트를 그토록 중요하게 생각하는가? 웨이퍼 제조 공정에서는 극심한 열과 엄격한 전기적 허용 오차로 인해 오류가 발생할 여지가 전혀 없습니다. 예를 들어, 온도 센서나 히터에 아주 작은 절연 누설이 생기기만 해도, 컨트롤러 보드가 손상되거나 실...