スマートファブでウェーハの硬化処理を正しく行うには
スマートファブを運営しているなら、すべてはデータにかかっていることがわかっているでしょう。しかし、ウェーハの硬化処理においては、ハードウェアが単に熱を無闇に放出するだけでは、データだけでは不十分です。単にエネルギーをチャンバー内に投入するだけのシステムではなく、エネルギーを適切に制御できるシステムが必要です。
そこで役立つのが反射器です。反射器によって、ランプからの赤外線が空気を温めるのではなく、直接ウェーハに当たるようになります。
エネルギーの無駄遣いを止めよう
実際、反射器を使わずに硬化ランプを使用すると、エネルギーの半分が無駄になってしまいます。
私たちは反射器を使って、短波長の赤外線を再び基板上に戻します。これにより、加熱用の電力を減らしながらも、目標とする表面温度を達成できます。また、電力供給システムも負担を軽減され、チャッシュもオーブンのようにならないのです。
材料に関する詳細
使用する波長に応じて、高純度のアルミニウムや金メッキされた基板を使用します。重要なのは、熱が均一に分布することです。
これをIndustry 4.0のセンサーと組み合わせると、すべてがスムーズに進みます。熱の分布が予測可能になり、投入されたエネルギーと表面の温度との間に直線的な関係が生まれます。これにより、ウェーハの温度を正確に把握しやすくなります。
実際の状況：現場で何が起こるか
ただし、注意点もあります。
高反射率のシステムは、狭い空間に多くの熱を集中させます。これにより硬化処理の速度は上がりますが、冷却ファンには大きな負担がかかります。古い設備にそのまま取り付けても上手くいかない可能性があります。必ず、十分な排気能力があるかを確認する必要があります。
また、反射器の位置が数ミリメートルでもずれていると、ホットスポットが発生し、硬化処理が均一に行われず、歩留まりが低下します。
私のアドバイスは、ランプを交換するたびに正確な位置合わせを行うことです。わずか1分かかりますが、これによって生産が安定します。