赤外線を活用して、スマートファブの加熱を正確に制御しよう
インダストリー4.0向けのスマートファブを構築する場合、ソフトウェアだけでは不十分であることはご存知でしょう。本当の課題はハードウェアです。データに応じて動作する装置が必要なのです。
ウェーハの加熱に関しては、私たちは赤外線を積極的に利用しています。なぜかというと、速いからです。実に迅速です。デジタル化された生産ラインでは、ヒーターが反応するのを待つ余裕はありません。
遅延なし、正確さだけ
従来の抵抗式ヒーターの問点は、速度が遅いことです。タイミングを狂わせる厄介な遅延があります。一方、赤外線はPLCの命令にほぼ即座に反応します。高い出力密度と小さなサイズにより、熱源がウェーハの近くに位置します。距離が短ければ、無駄な熱も減ります。
また、エネルギーの管理も容易になります。各ウェーハが実際にどれだけの電力を消費しているかをリアルタイムで把握するには、このような予測性が不可欠です。
パワーと冷却のバランス
これらのシステムは24時間365日、休むことなく稼働します。そのため、短波長の赤外線照射器を使用しています。これにより、基板全体が均一に適切な温度になります。
しかし、注意点もあります。処理速度を上げるために出力を上げると、冷却システムに負担がかかります。冷却が追いつかないと、周囲の温度が上昇し、結果として熱制御範囲を超えてしまいます。これはバランスを取る必要がある問題です。
メンテナンスの手間をなくす
インダストリー4.0とは、実際に何が起こっているかを把握したいということです。私たちは、閉ループフィードバックシステムを使って、赤外線システムを直接データ層に接続しています。機器が正常に動作しているかを期待するのではなく、照射器の状態をリアルタイムで監視できます。出力が一定値以下になると、システムが警告を発します。そうすれば、照射器が壊れる前に交換することができます。
もう推測する必要はありません。単純に、現場で実際に起こっていることに基づいてスケジュールを立てるだけです。