ウェーハをきれいに保つために：赤外線ランプの故障に関する真実
大量生産の半導体製造プロセスにおいて、ランプが壊れるのは大変な問題です。しかし、石英管が実際に破損してしまうと、それは本当に深刻な問題です。
ガラスの破片やほこりがシリコンウェーハに付着すると、単に生産が停止するだけでなく、ウェーハも汚染され、多くの時間が無駄になります。私たちは、そうした事態を防ぐ方法を長年研究してきました。
破片の防止
私たちが採用しているのは、加熱素子を高純度の石英製のカバーで覆うという方法です。これはまさに安全ネットのようなものです。内部のフィラメントが壊れたり、管が熱で割れたりしても、外側のカバーがすべてを受け止めてくれます。そうすれば、汚れが内部に残らず、ウェーハもきれいな状態を保てます。
高温対策
これらの装置は非常に高温になります。圧力によって破損しないように、厚壁の石英を使用しています。また、接続部の密封部分にも細心の注意を払っています。これが通常、問題が発生する箇所です。真空室やクリーンルームでは、悪質なガスを放出する安価な接着剤は使われません。作業環境にそのような物質が漂っているのは望ましくありません。
トレードオフ
ただし、高ワット数のランプは、迅速に加熱できるため、生産をスムーズに進めるのに役立ちます。しかし、そのエネルギーによって多くの熱が発生します。冷却システムや空気の流れがそれに対応できるかどうかが重要です。もしベンチの内部が過度に熱くなると、どんなに良いランプでも最終的には密封部が壊れてしまいます。つまり、バランスが重要なのです。
迅速な交換
最後に、電球が壊れただけで半日もかけてベンチを再調整するのは誰も望みません。私たちは標準化された接続部を使用しているため、基本的にはそのまま交換できます。10分以内に壊れたランプを交換し、すぐに作業を再開できます。非常に簡単です。