फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, डोपेंट एक्टिवेशन, फोटोरेजिस्ट सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक की प्रक्रियाओं में होने वाले तापमान-परिवर्तनों के कारण उत्पादन दर में गिरावट आती है… यहाँ तक कि उत्पादन पूरी तरह ही नष्ट हो सकता है। हमने अपने डोपेंट एक्टिवेशन हीटर को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि वह उसी तापमान पर काम करे, जिसकी प्रक्रिया में आवश्यकता है… न कि उस तापमान पर, जिस पर चेम्बर का तापमान अनियंत्रित हो।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हमारा शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटर तेज़ी से एवं सीधे ही ऊष्मा प्रदान करता है… वेफर पर तापमान की स्थिरता ±0.1°C के भीतर ही रहती है। इससे एक्टिवेशन प्रक्रिया स्थिर रहती है, एवं फोटोरेजिस्ट बेकिंग प्रक्रिया भी सुचारू रहती है। क्वार्ट्ज-हैलोजन मॉड्यूल के कारण स्पेक्ट्रल नियंत्रण बेहतर रहता है… इससे तापमान को तुरंत ही नियंत्रित किया जा सकता है, बिना ऊष्मा-खर्च में वृद्धि के।
क्लीनरूम क्लास 1–100 के साथ संगतता:
कम गैस-निकास वाली सामग्रियों, सील्ड असेंबली, एवं कण-रहित वातावरण के कारण लिथोग्राफी प्रक्रिया में कोई व्यवधान नहीं आता। दोहरावीता भी बेहतर रहती है… प्रत्येक बार एक ही तापमान प्राप्त होता है।
फैब्रिकेशन प्रक्रिया में इसका क्या लाभ है?
व्यावहारिक रूप से, सॉफ्ट बेकिंग के कारण विलायक आसानी से निकल जाता है… जबकि हार्ड बेकिंग के कारण वेफर पर कोई दोष नहीं रहता। डोपेंट एक्टिवेशन प्रक्रिया भी स्थिर रहती है… इससे वेफर पर तापमान-वितरण भी स्थिर रहता है।
पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है…
सीडी नियंत्रण भी बेहतर रहता है… चक्र-समय भी नियंत्रित रहता है। ऊर्जा-खर्च भी कम हो जाता है… क्योंकि प्रतिक्रिया तेज़ होती है, एवं स्टैंडबाय खर्च भी न्यून होता है। यह उपकरण 24/7 काम कर सकता है… बिना किसी समस्या के।
कौन-सी बातों पर ध्यान देना आवश्यक है?
इंस्टॉलेशन के दौरान हीटर को चेम्बर के ऑप्टिकल पथ एवं कूलिंग सिस्टम के अनुरूप ही रखना आवश्यक है। रिफ्लेक्टरों की स्थिति एवं कूलेंट के प्रवाह की जाँच भी आवश्यक है।
तापमान-स्थिरता हासिल होने में थोड़ा समय लगता है… इसलिए लंबे समय तक ±0.1°C की सीमा बनाए रखने हेतु नियमित कैलिब्रेशन आवश्यक है।